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可程式HMDS蒸镀设备HMDS真空镀膜机

发布时间:2019-08-13

  通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。

  ?处理更加均匀:由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。

  ?效率高液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达8盒(4寸)的晶片。

  ?更加节省药液:实践证明,用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多。

  ?更加环保和安全:HMDS是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激身体、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染。

  ?真空系统:由真空泵、真空组件、真空测量等组成,主要作用是置换气体和抽走剩余HMDS蒸汽。

  ?充氮系统:作用是在置换过程中,用氮气来逐渐稀释空气或药液蒸汽,从而***终替换空气或药液蒸汽的气氛。主要由氮气源、控制阀和喷头组成。

  ?控制系统:控制模块是本系统的核心模块,它的作用是控制各个模块的动作和时序,完成整个工艺过程。主要由人机界面,CPU控制中心,控制接口和输出部件,报警等5部分组成。人机界面采用触摸屏来实现参数、状态等界面的显示和参数的设定输入。PLC采用三菱系列小型化PLC。

  我公司主要业务项目有环境检测仪器(主要有高低温试验机,恒温恒湿试验机,低温脆性试验机,步入式恒温恒湿实验室,黑蒜加工设备,精密鼓风干燥箱,老化箱,真空干燥箱,高低温冲击试验机,HMDS烤箱,半导体工艺设备, HMDS预处理系统,HMDS烤箱,洁净烤箱,无氧烤箱,无尘无氧固化烤箱,LED烤箱,高温烤箱,隧道烘箱等仪器设备),实验室研究仪器(主要有塑料电子密度计,导体电阻测试仪,QJ电桥,测量投影仪),燃烧检测仪器(线缆单根垂直燃烧试验机,负载燃烧试验机,氧指数测定仪,水平 垂直燃烧试验仪,漏电起痕试验仪,灼热丝试验仪),电线电缆质检试验仪器(主要包含线缆低温脆性试验机,线缆自然通风老化箱,电线电缆导体电阻测试仪,线缆检测投影仪,电缆低温拉伸试验仪,低温卷绕试验装置,低温冲击试验装置,热延伸试验烘箱等实验设备),橡塑检测仪器、塑料低温脆化试验机等仪器。

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